主要功能：本设备用于石英炉管及零件的清洗，通过PLC控制相应的泵、阀，可在自动或手动模式下清洗12英寸双层面石英管（包括不规则形状）、晶舟、外管、内管、点火筒及其他石英和SiC部件，进行喷酸（石英管内、外壁）、自动卸酸、DIW高压喷射（同时石英管转动）、氮气吹干等多个工序一次完成以保证石英管油污、颗粒、杂质的彻底清除，石英管的清洗为过滤循环酸洗及DIW水冲洗，设备同时能够满足厂务动力要求和满意的售后服务。