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Sungwa Local CDS系列

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供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子,
供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案;
供应高纯度化学品以显影芯片图案;
供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物;
供应高纯度化学品以研磨芯片;
供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件;
产品详情

操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑

化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品兼容 微粒?控制:过滤器循环过滤

满?最?需求流量:?浓度化学品如H2SO4、 H3PO4

?动控制操作运转:系统单元与机台界??动化 取样分析:系统、管路之粒?数、?属离?取样分析

泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)

系统诊断:Pump、Filter 、Valve运转时数 维修保养管路

化学品?量统计

Auto Purge/Flush 功能


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供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案;
供应高纯度化学品以显影芯片图案;
供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物;
供应高纯度化学品以研磨芯片;
供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件;
18013136823
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操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑

化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品兼容 微粒?控制:过滤器循环过滤

满?最?需求流量:?浓度化学品如H2SO4、 H3PO4

?动控制操作运转:系统单元与机台界??动化 取样分析:系统、管路之粒?数、?属离?取样分析

泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)

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