This equipment is an immersed type cleaning system of quartzware used forEPI processing in semiconductor industry. 

The purpose of cleaning is the removal of deposits and residuals on the process environment wall of EPI relevant accessory parts made of quartz. 

Quartzware is immersed into a solution completely by transfer basket and uniformly wetted
for sufficient cleaning. System incorporates three (3) cleaning process baths, mechanical
transfer module with agitation movement function, media supplying & circulation functions
and drain piping system. System operation is controlled through color touch-screen with
user-friendly graphical interface and PLC control system. Software provides data logging and
setting of automatic and manual operations with safety interlock function, alarm function and
history record function. Module main body is constructed with PP material to keep durability for strong acid 
resistance. Acid vapor generated during processing is forcibly exhausted through exhaust uct with auto/ manual dumper