化学品分配系统简述

  化学品分配系统是旨在将化学品和化学品输送到用于湿法处理晶圆的生产工具。通常，湿处理化学品通过过滤器被泵送到储罐中，然后将过滤的化学品供给到工厂中其他的处理工具。过滤流量通常很低，通常是单程的，意味着这些化学品只被过滤一次。由于过滤器有一个或多个机会可以去除不需要的颗粒，所以应该使用具有高颗粒去除效率的过滤器。

  XZC为化学品分配提供理想选择，这些过滤器专为单通道或小流量系统而设计，并针对较高的颗粒去除效率和清洁度进行了优化。

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